Được tạo ra bởi bộ phát tín hiệu siêu âm (nguồn điện), tín hiệu dao động tần số cao được chuyển đổi thành dao động cơ học tần số cao thông qua bộ chuyển đổi (bộ rung) và lan truyền vào chất lỏng. Sóng siêu âm trong chất lỏng phát ra liên tiếp theo chu kỳ đặc – loãng và tạo ra hàng ngàn bong bóng siêu nhỏ. Những bong bóng này hình thành và phát triển trong vùng áp suất âm của quá trình lan truyền, sau đó đóng lại nhanh chóng trong vùng áp suất dương. Trong quá trình được gọi là “hiệu ứng cavitation”, việc đóng các bong bóng có thể tạo ra áp suất cao tức thời lên tới hàng ngàn atm. Áp suất cao liên tục được tạo ra giống như vô số vụ “nổ” nhỏ liên tục tác động lên bề mặt vật thể, khiến các vết bẩn trên bề mặt và khe hở bong ra nhanh chóng, từ đó đạt được mục đích làm sạch.